gases

chemical formula

specification%

impurityppm

helium

He

  99.995

 TCH4≤1 CO2≤1 Ne≤10 H2≤3 CO≤1 H2O≤10

  99.999

 O2≤1 TCH4≤1 CO2≤0.5 Ne≤4 H2≤1 CO≤0.5 H2O≤1

  99.9995

 O2≤0.5 TCH4≤0.1 CO2≤0.2 Ne≤1 H2≤0.1 CO≤0.1 H2O≤1

argon

Ar

  99.99

 O2≤10 THC≤10 N2≤50 H2≤5 H2O≤15

  99.999

 O2≤2 THC≤2 N2≤5 H2≤1 H2O≤4

  99.9995

 O2≤1 THC≤0.5 N2≤2 H2≤0.5 H2O≤1

hydrogen

H2

  99.99

 O2≤5 CO2≤5 N2≤60 TCH4≤10 CO≤5 H2O≤5

  99.999

 O2≤1 CO2≤1 N2≤5 TCH4≤1 CO≤3 H2O≤1